3d打印碳化硅烧结炉 -尊龙凯时注册
产品介绍
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碳化硅反应烧结炉是专门用于制备反应烧结碳化硅（rb-sic）的高端热处理设备，通过硅熔渗（silicon infiltration）工艺，将多孔碳化硅素坯与熔融硅在高温下反应，形成高致密、高性能的sic-si复合材料。该设备广泛应用于半导体、航空航天等领域。
参数指标
参数指标
单位/型号
实验型
生产型
ntg-sjl-50w
ntg-sjl-90w
ntg-sjl-120w
ntg-sjl-165w
ntg-sjl-210w
ntg-sjl-276w
有效尺寸
mm
300×300×600
400×400×800
500×500×1200
600×600×1600
600×600×2000
750×750×2000
可定制更大尺寸加热方式
/
石墨电阻
高温区容积
l
54
128
300
576
720
1125
装载量
g
装料区容积*产品密度（装料容积可根据用户需求定制）
功 率
kw
50
90
120
165
210
276
极限真空度
pa
冷态 5pa(真空度可根据客户需求定制)
工作温度
℃
1500℃
1500℃
1500℃
1500℃
1500℃
1500℃
最高温度
℃
1600℃
1600℃
1600℃
1600℃
1600℃
1600℃
恒温区温差
℃
±5℃
±5℃
±7℃
±7℃
±10℃
±10℃
炉内工作环境
/
真空状态或ar.n2气氛保护（微正压）
